韩国开建超纯水示范工厂:每天生产2400吨,用于半导体芯片制造

时间:2021-11-17 17:13:57       来源:IT之家

11 月 17 日消息,根据韩国媒体 BusinessKorea 报道,韩国环境部于 11 月 16 日在 SK Silitron 工厂举办了超纯水示范工厂的奠基仪式。新工厂将验证工业用超纯水制造相关的各项技术,其中包含用于有机物去除的 UV 氧化系统,用于去除溶解氧的脱气系统,以及相关设备和施工方式。

新工厂建在半导体制造商的工厂内,在技术验证期间也能供应超纯水,韩国计划在 2025 年之前完成技术验证,目的是减少对于外国技术的依赖。

这家工厂的目标是每天生产 2400 吨超纯水,此外远期目标是将生产和运营过程中进口设备的使用率降低至 0%,技术和设备采购方面的进口依赖程度降低到 40%。

IT之家了解到,超纯水是半导体芯片制造过程中必不可少的,台积电每天需要用到大量的超纯水对晶圆表面进行清洁。这种水内部的有机物含量需要低于 0.01ppm(百万分之一)。此前,韩国一直依赖从法国和日本进口超纯水。

外媒预计,与电子、医药、钢铁、半导体相关的全球超纯水市场,预计到 2024 年将达到 23 万亿韩元(约 1244 亿元人民币)。其中半导体相关的超纯水市场规模,估计会达到 4.4 万亿韩元(约 238 亿元人民币)。